檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Jeng-Ywan, Jeng".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="謝宏麟"
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…